文件名称:
基础电子中的水溶性干膜显影工艺常见问题及解决方法
开发工具:
文件大小: 52kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-11-18
详细说明：常见问题
原因
解决方法
过显影或显影不足
显影点位置不对。
调整显影速度、温度。
部份显影不足或过显影
消泡剂补充不足、后段清洗问题。
补充消泡剂检查清洗段。
干膜质量差。
更换干膜。
储存时受到其它光源的影响。
改善储存条件。
曝光过度。
使用曝光尺检查曝光强度。
底片问题。
使用仪器检查底片的透光率。
真空不良引起底片与基板接触不好产生虚光。
检查设备真空及框架的气密性。
显影液失效。
更换显影液。
显影时间短，喷嘴堵塞，压力过
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