开发工具:
文件大小: 83kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-11-14
详细说明：与标准CMOS工艺兼容的金属间氧化层光波导，利用CMOS工艺中的一层金属和二层金属间的氧化层作为光波导芯 层，第一层金属作为光波导下包层，二层金属作为光波导上包层。如图1所示，利用有源区与阱间的pn结作为发光 二极管，二氧化硅覆盖在pn结上。发光二极管发出的光直接耦合进入金属间氧化层光波导，实现发光二极管与光 波导的集成，利用有源区与阱间的pn结作为光探测器，二氧化硅覆盖在pn结上。光波导将光直接耦合到光探测器 ，实现光探测器与光波导（110）的集成。
图1 金属间氧化物光波导结构
金属间氧化层光波导的材料和工艺均与标准CMOS工艺流程兼容，因此制作步骤与标准CM0S工艺流程相同，具体
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
