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上传时间: 2020-11-13
详细说明：图是垂直腔面发射激光器的结构示意图。其有源区由多量子阱组成，有源区上、下两边分别由多层1／4波长厚的高、低折射率交替的外延材料形成DBR，出射光方向可以是顶部或衬底，这主要取决于衬底材料对所发出的激射光是否透明及上、下DBR究竟哪一个取值更大一些。
图 垂直腔面发射激光器结构示意图
由于垂直腔面发射激光器的这种独特结构，使得研制高性能的VCSEL的关键在于以下几点：
（1）由于VCSEL的腔长较短，只有数个等效波长的量级，因而其相邻模式的间距很大，一般为几十纳米。这要求材料的增益谱峰值波长、多层高反膜即DBR的高反射谱中心波长，以及谐振腔的谐振波长三者要完全符合设计长度。
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