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电源技术中的AFM：应对65nm以下测量技术挑战
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上传时间: 2020-11-26
详细说明：半导体工业目前已经进入65纳米及以下技术时代，关键特征通常为纳米级，如此小特征的制造工艺要求特殊的测量仪器|仪表，以便能够表征出纳米级几何尺寸，从而检验出任何偏离工艺规格中心值的情况，确保与设计规格保持一致。 扫描探针显微镜(SPM)已经应用在纳米技术和纳米科学中，主要包括以结构、机械、磁性、形貌、电学、化学、生物、工程等为基础的研究和工业应用。原子力显微镜(AFM)是以显微力感应为基础的SPM家族的一个分枝。工业用AFM是一种自动的，由菜单驱动的在线生产测量机台，自动的硅片操作、对准、探针操作、位置寻找、抓图和图像数据分析等测量都被编程在菜单中，最终输出测量数据。值得一提的是，AFM作为1
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