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上传时间: 2020-12-10
详细说明：缪彩琴1 翁寿松2(1无锡机电高等职业技术学校，214028；2无锡市罗特电子有限公司，214002)摘要：本文介绍了当前世界顶级半导体公司、材料公司、设备公司和微电子科研中心研发65nm、45nm、32nm和5nm工艺的最新进展和成果。关键词：65nm 工艺 45nm 工艺 32nm 工艺 5nm 工艺1 前言2003年底世界出台了最新版本的半导体工业技术发展蓝图(1TRS2003)，见表1。表中hp是指IC中的第一层金属线尺寸的半间距。ITRS2003要求2004年实现hp90nm，这意味着2004年全球IC制造将全面步人纳米尺度(100nm—0．1nm)范围。事实上，2003年下半年起英
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