文件名称:
溶胶-凝胶工艺制备SrTiO3纳米薄膜的研究
开发工具:
文件大小: 117kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-12-10
详细说明：（中国科学院半导体所材料中心，北京100083）摘 要：采用溶胶-凝胶方法，以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体，乙酰丙酮为螯合剂，乙二醇甲醚为溶剂，乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶，用旋涂法在Si(100)衬底上制备出了具有典型钙钛矿型结构的SrTiO 3纳米薄膜。用XRD、AFM、SEM和椭圆偏光仪等手段分析了薄膜的性能，结果显示薄膜的表面均匀、无裂纹、厚度20-30nm，折射率1.75-1.85，晶粒度35-60nm，表面平均粗糙度RMS为3.4-3.8nm，晶粒形貌呈类圆锥形态。 关键词：SrTiO3薄膜；溶胶-凝胶工艺；纳米薄膜 中图分类号：TN304.9 文献标识码：A 文章编号：1003-3
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
