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上传时间: 2020-12-09
详细说明：如果硅是沉积在不定形的物质上，那么就没有底下的结构能调整晶体的生长。最终的硅薄膜由小的愈合晶体的集合体组成。这种多晶薄膜有粒状结构，它的粒子尺寸取决于沉积条件和接下来的热处理。多晶的粒子boundaries就好像lattice defects，它能为漏电流提供秘密通道。因此，PN结通常不是由多晶造的。多晶通常用来生产self-aligned MOS晶体管的gate电极，因为，不像铝，它能承受退火source/drain植入所需的高温。另外，由于磷掺杂的多晶能固定离子杂质，多晶的使用能更好的控制MOS的阈值电压（节 4.2.2）适当掺杂的多晶制作的非常窄的电阻比扩散器件有更少的寄生。重掺杂的多晶
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