文件名称:
半导体器件的评估方法、制造方法及器件设计管理大全
开发工具:
文件大小: 28kb
下载次数: 0
上传时间: 2020-12-09
详细说明：工艺评估,器件评估,芯片制造评估方法.器件设计管理大全 提供了一种以不同于采用霍耳测量或CV测量来获得载流子密度的方法的途径精确而简单地获得器件掺杂剂激活率的新方法，还提供了一种以适当阈值电压控制，亦即根据得到的激活率的剂量控制来执行的器件生产方法。本发明人发明了一种方法，其中，根据器件的阈值电压和平带电压而得到半导体膜中激活的掺杂剂密度(第一掺杂剂密度)，然后根据得到的激活的掺杂剂密度对用SIMS分析得到的掺入的掺杂剂密度(第二掺杂剂密度)的比率而得到掺杂剂激活率。本发明使得能够容易地获得器件的沟道形成区和杂质区中的掺杂剂激活率。 下载：图片1 图片2 图片3 图片4 图片5 图片
(系统自动生成,下载前可以参看下载内容)
下载文件列表
相关说明
- 本站资源为会员上传分享交流与学习,如有侵犯您的权益,请联系我们删除.
- 本站是交换下载平台，提供交流渠道，下载内容来自于网络，除下载问题外，其它问题请自行百度。
- 本站已设置防盗链，请勿用迅雷、QQ旋风等多线程下载软件下载资源，下载后用WinRAR最新版进行解压.
- 如果您发现内容无法下载，请稍后再次尝试；或者到消费记录里找到下载记录反馈给我们.
- 下载后发现下载的内容跟说明不相乎，请到消费记录里找到下载记录反馈给我们，经确认后退回积分.
- 如下载前有疑问，可以通过点击"提供者"的名字，查看对方的联系方式，联系对方咨询.
