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上传时间: 2020-12-09
详细说明：集成电路版图设计通常是由集成电路中晶体管版图开始的，而该晶体管版图通常是最小面积晶体管的版图。因此，掌握什么是最小面积晶体管，其版图是如何确定的非常重要。另外，掌握集成电路制造中常用的各种晶体管版图及其对应的工艺剖面结构也是十分重要的。最小面积晶体管--由图形最小尺寸（图形最小线宽和图形最小间距）构成的晶体管。 如图18.21（p.356）所示的最小面积晶体管，隔离框内管芯面积为6064μm2，如果槽宽为10μm，则每个最小晶体管所需隔离槽面积为3800μm2，每条隔离槽为两相邻隔离岛共用，所以每个最小面积晶体管所需的隔离槽面积为1900 μm2 ，大约为内管芯面积的1
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