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上传时间: 2020-12-09
详细说明：基区扩散电阻是最常用的电阻器 对一般图形电阻的阻值采用计算电阻公式(3-1) ，折叠图形电阻阻值的计算是各段相加，不过对端头电阻和拐角电阻要进行修正采用计算电阻公式(3-3) 。 集成电路中电阻--基区沟道电阻外延层电阻外延层沟道电阻 离子注入电阻 同样是掺杂工艺，由于离子注入工艺可以精确地控制掺杂浓度和注入的深度，并且横向扩散小，因此，采用离子注入方式形成的电阻的阻值容易控制，精度较高。 这个电阻(见图 3.14)由两部分组成，离子注入区电阻和p+区端头电阻，因为p+区端头的掺杂
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