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上传时间: 2020-12-09
详细说明：内容: 1 典型pn结隔离工艺 1.1 pn结隔离工艺的工艺流程 1.2 典型pn结隔离的实现及埋层作用 1.3 pn结隔离结构形成的说 明 2 介质隔离工艺 2.1 介质隔离工艺的工艺流程 2.2 介质隔离工艺中晶体管和电阻的结构剖图 2.3 介质隔离工艺的工艺特点 3 pn结-介质混合隔离 3.1 pn结-介质混合隔离剖面结构 3.2 pn结-介质混合隔离结构特点 课程重点: 本节主要介绍了双极型逻辑集成电路制造中常用的典型pn结隔离工艺以及补
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