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上传时间: 2020-12-09
详细说明：洁净室的设计和操作过程都必须防止外界污染的入侵。图5.15 显示了一个典型的加工工艺区域的规划图。有九种控制外界污染的技术，它们是： 1. 粘着地板垫 2. 更衣区 3. 空气压力 4. 空气淋浴器 5. 维修区 6. 双层门进出通道 7. 静电控制 8. 净鞋器 9. 手套清洗器 粘着地板垫。 在每个洁净室入口处放置一块带有粘性地板垫，它可把鞋底的脏物粘住，并保留下来。在有些洁净室里，整片地板的表面都被处理过以收集脏物。大多地板垫都分许多层，当上一层变脏后，可撕掉而露出下一层。 图 5.15 FAB区域及更衣区, 空气淋浴, 维修区 Factory工厂 Lockers存储柜 Bench板凳
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