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上传时间: 2020-12-09
详细说明：空气经过过滤的生产环境首先被航空航天工业使用。即使一个极其微小的缺陷都可造成卫星工作失误，因此，NASA （译者注：美国航空航天中心）和其服务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且首创了许多基本的污染控制理念，其中包括从工作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。 半导体工业采用了许多这方面的技术。 然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后，很难保持其固有的洁净度。 早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为洁净工作台法。这个主要是把过滤器装在单个工作台上，并使用无脱落的物质。 在工作台以外，晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。 在大型车间中按顺序排列的
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