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上传时间: 2020-12-09
详细说明：孔祥东，张玉林，尹明（山东大学控制学院电子束研究所，山东 济南 250061）摘要：介绍了IH系列立体光刻技术。使用该系列技术可以加工出具有高深宽比和复杂曲面的各种微结构，可以容易地加工出微可动部件、电子聚合物组合结构和不同聚合物的全聚合物结构，能较好地满足MEMS发展的需要。最后指出这种方法目前存在的缺陷。 关键词：IH工艺；立体光刻；抗蚀剂中图分类号：TN305.7 文献标识码：A 文章编号：1671-4776（2003）11-0034-061引言随着微机电系统在各个领域的广泛使用，需要精确产生复杂曲面和各种形状微结构的加工方法。目前用于微尺寸加工的主要技术为基于IC工艺的平面硅工艺和立体
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