文件名称:
传感技术中的米铱改进型ILD1800激光传感器用于双面覆铜板在线测厚
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上传时间: 2020-12-06
详细说明：双面覆铜板在线测厚，考虑到在线传送时覆铜板上下窜动带来的测量误差，应在测厚点上下安装两个传感器。如下示意图
双面覆铜板测厚早期用电容式传感器。它的优点是表面色斑，表面微观沟槽不影响测量结果，其缺点是传感器头与被测面间隙很小，且受间隙中介质变化而影响精度。对安装调校的环境要求很高，使用受到限制。而最致命的缺点是电容式传感器是面积效应，它测的是大于面积5㎜处的平均厚度。这对精密到某一点的板厚测量是很大的缺陷。 于是激光位移传感器受到重视，因为传感器安装距离远，环境要求并不高，而且基本上是一个点的测厚。适于精密到某一点的板厚测量。问题是，一般慢反射激光传感器对表面色斑的敏感，以及几
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