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上传时间: 2020-12-13
详细说明：现实世界的信息是通过传感器获得的，与人们的生活息息相关。传感器已大举进入工业自动化、汽车工业、航天、生物、医学应用领域，且在无线通信、消费品领域亦有广泛的发展空间。传感器种类繁多，涉及物理、化学、电子、机械、生物、医学等学科。在众多传感器技术中，微系统技术起着关键的作用，利用这一技术已研制了各种类型、性能可靠的传感器。此外，传感器无线网络化也是当前一个热门话题，为传感器应用另辟一条蹊径。本文将详细介绍这方面的发展情况。 微系统技术MST（微系统技术）泛指系统内使用有源和无源两种微结构组件的一门技术。MST隐含MEMS（微机电系统），两个术语常常是通用的。微结构或微组件表示长度单元为微米级，最小
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