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传感技术中的力平衡加速度传感器原理设计
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上传时间: 2020-12-13
详细说明：力平衡加速度传感器原理设计
[日期：2004-12-7] 来源：21IC中国电子网 作者：李忠勤 刘琳 赵长有 [字体：大 中 小]
作者：zcyheroyeah.net
摘要：本文介绍了一种力平衡加速度传感器的原理设计方法。差容式力平衡加速度传感器在传统的机械传感器的基础上，采用差动电容结构，利用反馈原理把被测的加速度转换为电容器的电容量变化，将加速度的变化转变为电压值。使传感器的灵敏度、非线性、测量范围等性能得到很大的提高，使其在地震、建筑、交通、航空等各领域得到广泛应用。
关键词：加速度 差容式 力平衡 传感器
加速度传感器是
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