文件名称:
非球面拼接干涉测量中调整误差影响的机理及应用研究
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上传时间: 2021-03-26
详细说明:由于子Kong径重叠区域的拟合不精确,调整误差的累积为在通过缝合干涉法测量非球面的过程中具有重要意义。 理论分析表明三向调整误差的效果和外观与赛德尔像差的效果和外观相符,其中轴向误差会导致散焦,三阶球差和波阵面分布的高阶误差。 基于我们进行了分析,建立了校正模型,并获得了调整误差的估计值。 通过校正模型中的高阶像差,可以提高子Kong径重叠区域的拟合精度。 对比实验表明,拟合后,剩余误差和测量不确定度的值均小于传统的三向调整误差校正方法得到的值,证明了该方法的拼接精度较高。
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