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利用转移矩阵法预测MOVPE生长的AlGaAs薄膜的光学归一化瞬态瞬态
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上传时间: 2021-03-23
详细说明:这篇论文报道了光学归一化反射率(NR)瞬态的预测和分析。 使用转移矩阵方法(TMM)的AlGaAs多层和分布式布拉格反射器(DBR)。 模拟结果与生长样品的测得的NR瞬变很好地相关。 AlxGa1-xAs的偏差成功预测了预期样本和实际样本之间的组成。 较小的光学预测了第一DBR层中的振动幅度,并且可以将其用作Al成分的指示。 前三对DBR中的NR瞬变的特殊特征也通过使用计算出的透射率随厚度的增加而变化。 TMM模拟的NR瞬变为因此证明是一种方便,可靠的预生产技术,也不限于AlGaAs 材料。
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