文件名称:
基于微机电系统技术的催化甲烷传感器的制备与表征
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文件大小: 4mb
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上传时间: 2021-03-21
详细说明：为了解决催化甲烷传感器传统的珠状和平面硅载体的盲Kong问题，采用MEMS技术制造了基于陶瓷微热板的催化甲烷传感器。在Al2O3上原位生长的多Kong陶瓷膜用作传感器的载体。用SEM和EDS分析了催化剂的形貌和元素。通过COMSOL软件仿真，通过电热机械模型的直接耦合分析了传感器的温度和热应力分布。同时，我们还研究了传感器的甲烷响应特性。仿真和实验表明，所设计的MEMS催化甲烷传感器的工作温度约为450摄氏度。微热板的温度分布均匀，最大温差小于4摄氏度。电压为2.8时V，该传感器可以实现0的体积分数（类似于5％）的CH4检测，具有良好的线性输出特性，每1％CH4的平均灵敏度为7.63 mV。响应时间也缩短了，90％的响应时间为15 s，90％的恢复时间为23 s。与传统的甲烷传感器相比，该传感器具有批量生产，部件一致性好，匹配率高的优点。
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