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上传时间: 2021-03-19
详细说明：特气产品跟随下游技术快速更迭：在特种气体的各个应用领域中，电子半导体领域对特 种气体的纯度和质量稳定性要求最高。在电子半导体领域，特种气体广泛用于集成电路、液 晶面板、LED、光纤通信、光伏等行业，近年来下游产业技术快速更迭，特别是在集成电路 制造领域，制程节点不断减小，从 28nm 制程到 5nm 制程，晶圆尺寸从 8 寸晶圆到 12 寸晶 圆。作为集成电路制造的关键材料，伴随着下游产业技术的快速迭代，特种气体对纯度和精 度的要求持续提高，比如在纯度方面，普通工业气体要求 99.99%左右，但是在先进制程的 集成电路制造过程中，气体纯度要求通常在 6N（99.9999%）以上。 国产替代迎来
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