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  1. 不连续金属薄膜对短波长软X射线多层膜反射特性的影响

  2. 讨论了不连续金属薄膜对软X射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型,具体计算了在短波段的软X射线多层膜反射率与不连续金属岛状膜在基底表面覆盖率之间的关系,修正了文献中的评估方法,并建立了新的定性评估包含不连续金属膜层的软X射线多层膜光学特性分析模型。
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-11
    • 文件大小:967680
    • 提供者:weixin_38715567