力平衡加速度传感器原理设计 [日期：2004-12-7] 来源：21IC中国电子网  作者：李忠勤 刘琳 赵长有 [字体：大 中 小] 　  作者：zcyheroyeah.net     摘要：本文介绍了一种力平衡加速度传感器的原理设计方法。差容式力平衡加速度传感器在传统的机械传感器的基础上，采用差动电容结构，利用反馈原理把被测的加速度转换为电容器的电容量变化，将加速度的变化转变为电压值。使传感器的灵敏度、非线性、测量范围等性能得到很大的提高，使其在地震、建筑、交通、航空等