摘要： 设计了双岛梁结构量程是200 Pa 的超微压力传感器，进行了理论分析与计算，并对模片上的电阻条的宽度和长度进行了研究，为传感器惠斯通电桥的设计提供了重要的依据。通过有限元仿真软件，对传感器进行了温度分析，探索出了传感器的工作温度范围。最后，对传感器芯片尺寸进行了相关分析，发现随着尺寸增加和膜片厚度减小，纵向、横向、纵横应力差及Von Mises 应力均增加，但弯曲程度也相应增大，即灵敏度提高，线性度下降。 　　0 引言 　　为了设计200 Pa 量程的传感器，采用了双岛梁结构，此结构