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  1. 传感技术中的基于MEMS传感器的行人航位推算（PDR）解决方案

  2. 定位是感知应用的一个重要属性。在室内环境中，如果位置信息可用并非常可靠，有更多的应用场景可以实现的。行人航位推算(PDR) 就是这样一种技术，在室内环境中可提供行人航位信息并提高定位可靠性。惯性传感器、磁力计和压力传感器是航位推算应用中必不可少的传感器组件，用之可大幅提升导航性能，这些器件的功耗必须极低，这样才能始终保持开启模式并提供数据用于航位推算应用。实现随时随地定位的目标离不开高品质的MEMS传感器和高性能的行人航位推算算法。本文主要讨论各种行人航位推算算法上需要用到的传感器组件的数学表述

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-16
    • 文件大小：180224
    • 提供者：weixin_38657848

  1. 传感技术中的MEMS传感器四大应用领域详解

  2. MEMS传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用，已在太空卫星、运载火箭、航空航天设备、飞机、各种车辆、生特医学及消费电子产品等领域中得到了广泛的应用。 MEMS传感器典型应用如下图： 随着电子技术的发展，MEMS的应用领域越来越广泛，由最早的工业、军用航空应用走向普通的民用和消费市场。在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；在汽车上，MEMS传感器借助气

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-15
    • 文件大小：442368
    • 提供者：weixin_38739044

  1. 传感技术中的分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

  2. MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 　　MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，采用MEMS技术制作的微传感器、微执行器、微型构件、微机械光学器件、真空微电子器件、电力电子器件等在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们所接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。MEMS技术正发展成为一个巨大的产业，就象近20年来微电子产业和计算机产业给人

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-22
    • 文件大小：253952
    • 提供者：weixin_38557515

  1. 传感技术中的MEMS技术的智能化硅压阻汽车压力传感器

  2. 摘要：文中介绍通过采用MEMS（micro electro mechanical systems）技术制造的硅压阻力敏元件结合智能集成化信号调理技术设计了适合批量制造的小型化坚固封装的通用汽车压力传感器。通过智能调理技术将传感器的零位和满度进行温度校准实现了宽温度工作范围内的高精度测量，并且适合于批量制造。 　　0 引言 　　当今汽车性能的不断提升得益于汽车电子的不断发展。其中具有代表性的核心元件是传感器。传感器将各种物理信号转化为电信号从而将汽车行驶的具体状态传送给电子控制单元来实现汽车控

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：290816
    • 提供者：weixin_38692100

  1. 传感技术中的基于CAV424的电容式压力传感器测量电路设计

  2. 摘要： 随着差动式硅电容传感器广泛应用于各行各业中， 对差动电容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元， 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定性好， 抗干扰性强， 且通过非线性补偿有良好的线性。实验结果表明， 实际电路与理论分析具有良好的一致性。 　　0 引言 　　硅电容压力传感器是利用硅基材料， 应用电容原理， 采用MEMS 工艺制作的一类新型压力传感器。因其具有稳定性好， 非线性和可靠性优越的性能被广泛用于工业控制和测量领域。但是差动电容式压力传

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：308224
    • 提供者：weixin_38682242

  1. 传感技术中的高灵敏压力传感器过载保护结构设计

  2. 摘要：采用微机电系统（ MEMS） 牺牲层技术制作的压力传感器具有芯片尺寸小，灵敏度高的优势，但同时也带来了提高过载能力的难题。为此，利用有限元法，对牺牲层结构压阻式压力传感器弹性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过这两种分析方法的结合，准确的模拟出过载状态下传感器的应力分布。在此基础上给出了压力传感器的一种结构设计方法，从而可使这种压力传感器过载保护能力提高180% ～ 220%。 　　采用MEMS 技术的小量程、高灵敏压力传感器通常有平膜、岛膜、梁膜等结构，在设计过载保护

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：99328
    • 提供者：weixin_38713061

  1. 传感技术中的硅压力传感器的可靠性强化试验

  2. 目前MEMS （M icroelectromechanical System ）技术已经朝着微型化、集成化及智能化的趋势发展。基于MEMS工艺的硅压阻式压力传感器已经广泛应用于航空、石油化工、动力机械、生物医学、气象、地质以及地震测量等领域中， 成为当今发展高新技术装备不可缺少的电子产品。而硅压阻式压力传感器的一些参数随环境应力的改变而发生变化， 为了使产品在使用过程中的可靠性有保障， 尽早发现硅压阻式压力传感器系统设计和制造工艺缺陷是解决上述问题的根本。但是，MEMS器件可靠性标准的缺乏和研究

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：74752
    • 提供者：weixin_38704857

  1. 传感技术中的基于模型识别技术的高温微型压力传感器

  2. 摘　要: 高温压力传感器应用在很多领域,由于高温将使放大电路工作失效,因而采用将放大电路与传感器件分离的设计方案是解决高温测量的方法之一。介绍一种将放大电路与传感器件分离的基于模型识别技术的微型电容式压力传感器。传感器件由MEMS 工艺来实现,信号激励与信号处理由计算机来完成。       对电路的工作过程进行了计算机仿真和试验,并给出了微型高温压力传感器的MEMS 工艺设计流程。       关键词: MEMS 工艺;模型识别;高温;压力传感器       0 　引　言       压

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-21
    • 文件大小：345088
    • 提供者：weixin_38565631

  1. 传感技术中的基于高温的微型压力传感器设计方案

  2. 0 引言 　　压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以弹性元件的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。随着半导体技术的发展，半导体压力传感器也应运而生。其特点是体积小、质量轻、准确度高、温度特性好。特别是随着MEMS技术的发展，半导体传感器向着微型化发展，而且其功耗小、可靠性高。 　　高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：173056
    • 提供者：weixin_38723236

  1. 传感技术中的基于MEMS传感嚣的TPMS系统开发与实现（二）

  2. ４胎压传感模块系统设计 　　由于压阻式ＭＥＭＳ气压传感器的输出信号为数十毫伏量级，而且需要对温漂、初始测量精度等做相应校正，因此一个完善且实用的胎压传感模块系统如下图７所示，需要与之配套的专用芯片，将信号放大调理电路和低功耗ＭＣＵ控制电路集成在一起。胎压传感模块的工作流程如图８所示。 　　如图９所示，ＭＥＭＳ信号调理电路需要对压力传感器、温度传感器和电压监测三个传感器进行信号处理。由于压力惠通斯电桥和温度传感器均为小信号输出，为了充分利用ＡＤＣ的输入动态范围，减小ＡＤＣ精度要求，需要

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-10-20
    • 文件大小：324608
    • 提供者：weixin_38655878

  1. 传感技术中的基于惠斯顿电桥的压力传感器的解决方案

  2. 所有类型的传感器在过去几年中都有了很大发展，而且与之前的产品相比，更加精确也更稳定。有的时候，这些传感器使用起来并不简单。面向这些传感器的调节电路设计师，经常发现此类电路的开发多少有些令人头疼。然而，只需少量基础知识并使用新的在线传感器设计工具，这个过程面临的很多挑战都能够迎刃而解。 　　虽然现在市面上有多种传感器，但压力传感器最为常见。因此，本文将讨论基于惠斯顿电桥压力传感器的基本工作原理，以及用于转换这种桥传感器输出的处理电路，包括偏移和增益校准。 　　基于惠斯顿电桥的压力传感器 　　

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-05
    • 文件大小：136192
    • 提供者：weixin_38542148

  1. 传感技术中的基于系统级封装技术的车用压力传感器

  2. 1、引言 　　经过几十年的研究与开发，MEMS器件与系统的设计制造工艺逐步成熟，但产业化、市场化的MEMS器件的种类并不多，还有许多MEMS仍未能大量走出实验室，充分发挥其在军事与民品中的潜在应用，还需要研究和解决许多问题，其中封装是制约MEMS走向产业化的一个重要原因之一[1,2]。 　　为了适应MEMS技术的发展，人们开发了许多新的MEMS封装技术和工艺，如阳极键合，硅熔融键合、共晶键合等，已基本建立起自己的封装体系。现在人们通常将MEMS封装分为以下几个层次：即裸片级封装（Die Le

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-11
    • 文件大小：164864
    • 提供者：weixin_38676500

  1. 传感技术中的电磁激励微谐振式传感器的设计与制作

  2. 0  引  言 　　谐振式压力传感器的基本机理是利用压力敏感元件感受到压力，使与之相关联的谐振器的谐振频率发生变化，通过测量谐振器频率的变化来检测压力。与通常的诸如压阻式和电容式压力传感器相比，谐振式压力传感器体积小、功耗低；以频率为最后输出量的特点使其具有更高的精度和稳定性，容易和大规模集成电路兼容。 　　近几年来随着微机械加工技术的进步以及微弱信号检测技术的进步，基于MEMS工艺基础的谐振式压力传感器的研究和制作越来越受到重视。本文介绍了一种具有差分检测结构的谐振式压力传感器，谐振器采用

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-09
    • 文件大小：190464
    • 提供者：weixin_38552292

  1. 传感技术中的敏芯微电子推出MEMS压力传感器芯片

  2. 继推出硅基MEMS麦克风芯片后，苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片，主要针对量程为15PSI的高度表市场，并已开始提供样品。 　　据敏芯微电子介绍，其MEMS压力传感器芯片典型满量程输出范围为100kPa，在加载电压5V的情况下，满量程灵敏度为100mV，桥臂电阻典型值为5k欧姆，零位输出在+-30mV之间，灵敏度温度系数为-19%FS/100度。敏芯微电子称，其在国内率先独家推出的MEMS绝对压力传感器芯片，可同时兼容开

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-09
    • 文件大小：38912
    • 提供者：weixin_38702515

  1. 传感技术中的利用差频电路实现微电容式传感器检测电路的温漂抑制

  2. 0引言 　　电容式传感器是将被测的非电量变化转换为电容量变化的一类传感器，由于它具有灵敏度高、功耗低、温度漂移小等优点，因此广泛应用在压力、湿度、温度和加速度等测量中。MEMS(微电子机械系统)传感器体积小的特点决定了敏感电容器的电容值不可能大，一般为pF量级，而由这些物理量引起的微电容的变化更加微小，一般为fF甚至aF量级。如此小的变化量对检测电路的设计是一个挑战。传统的用分立元件搭制检测电路的方法将无法适应传感器电容不断减小的趋势，因此设计匹配的接口集成电路是十分必要的。常用的低值电容测量

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-08
    • 文件大小：282624
    • 提供者：weixin_38606202

  1. 传感技术中的轻松应对传感器信号调节所面临的挑战

  2. 所有类型的传感器在过去几年中都有了很大发展，而且与之前的产品相比，更加精确也更稳定。有的时候，这些传感器使用起来并不简单。面向这些传感器的调节电路设计师，经常发现此类电路的开发多少有些令人头疼。然而，只需少量基础知识并使用新的在线传感器设计工具，这个过程面临的很多挑战都能够迎刃而解。 　　虽然现在市面上有多种传感器，但压力传感器最为常见。因此，本文将讨论基于惠斯顿电桥压力传感器的基本工作原理，以及用于转换这种桥传感器输出的处理电路，包括偏移和增益校准。 　　基于惠斯顿电桥的压力传感器 　　

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-07
    • 文件大小：119808
    • 提供者：weixin_38714761

  1. 传感技术中的传感器信号调节解决方案

  2. 面向传感器的调节电路设计师，经常发现此类电路的开发多少有些令人头疼。然而，只需少量基础知识并使用新的在线传感器设计工具，这个过程面临的很多挑战都能够迎刃而解。 　　虽然现在市面上有多种传感器，但压力传感器最为常见。因此，本文将讨论基于惠斯顿电桥压力传感器的基本工作原理，以及用于转换这种桥传感器输出的处理电路，包括偏移和增益校准。 　　基于惠斯顿电桥的压力传感器 　　许多压力传感器使用微机电系统(MEMS)技术，它们由4个采用惠斯顿电桥结构连接的压敏电阻组成。当这些传感器上没有压力时，桥中的

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-07
    • 文件大小：118784
    • 提供者：weixin_38634323

  1. 传感技术中的MSI推出新产品MSP610—— 一款高精度不锈钢压力传感器

  2. 美国MSI精量电子(美国纳斯达克上市名称:MSS)设计、开发、生产和销售电子传感器和传感基础上的消费产品。旗下的知名品牌有Schaevitz(工业及军用测量位移,倾角,角位移等)、ICsensors（压力芯体及加速度计）、ufused（MSP系列适用于工业上的测量气体和液体的压力传感器）。其通过运用集成电路(ASIC)和微处理(三维技术加工硅片)、MEMS(微电子机械系统)、电容、感应、微机械压电电阻等多种传感技术，可有效地对距离、运动、液面高度、力、位移、角度和压力的测量提供解决方案。该公司产

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-11-30
    • 文件大小：58368
    • 提供者：weixin_38565003

  1. 传感技术中的mems压力传感器

  2. 硅直接键合技术广泛应用于压力传感器和加速度计，是一种制备密封腔的重要的工艺手段。硅-硅直接键合技术制备压力传感器具有很大的优势：成本低，应力小，性能高，可以大规模生产。压力传感器分为两种，一种是基于压阻的变化，一种是基于电容的改变。压阻式压力传感器是在密封腔上面悬空的硅层上制备压敏电阻，随着压力的变化，硅膜的应力变化，相应的压阻发生变化，键合压阻式压力传感器如图1.19所示。主要的工艺工艺步骤为：（1）衬底硅片进行腐蚀，腐蚀出要求的密封腔；（2）把衬底和另外一个硅片键合，并经过1000~1200

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-09
    • 文件大小：52224
    • 提供者：weixin_38557530

  1. 传感技术中的中国制造商征战新型传感器市场

  2. MEMS传感器热点应用转向消费电子     “以往的MEMS传感器价格昂贵，一般用于军工、工控、仪器仪表等应用。通过多年的发展，其尺寸不断缩小，技术不断成熟，成本一再降低。目前MEMS传感器的热点应用市场将转变为民用产品市场。”青鸟元芯微系统科技有限公司的总经理张威如此评论MEMS的发展历程。青鸟元芯的MEMS传感器系列2004年实现量产，目前有MEMS压力传感器、湿度传感器、加速度传感器以及气体传感器系列产品。     青鸟元芯采用与国际同步的MEMS工艺和专用设计工具，产品具有高可换

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-12-08
    • 文件大小：77824
    • 提供者：weixin_38713393
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