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低空间频率组合计算全息元件检测深度非球面
计算全息元件(CGH)可实现光学非球面的零位干涉高精度检测,但深度非球面的非球面度以及非球面度梯度均较大,使检测所需CGH的局部空间频率偏大,加工困难。提出一种用组合CGH检测深度非球面的方法,该方法通过组合两个低空间频率CGH,实现深度非球面检测时所需的单个高空间频率CGH的功能。由一维线性光栅模型推导组合CGH与传统单个CGH空间频率的关系,并由此给出组合CGH初始相位,逐步优化可求得最佳相位。以最大非球面度193.434 μm、最大非球面度梯度75.788 μm/mm的深度非球面为测试样例
所属分类:
其它
发布日期:2021-02-13
文件大小:9437184
提供者:
weixin_38503448