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搜索资源列表

  1. ZEMAX 的基本像差控制与优化

  2. ZEMAX 已经成为光学设计人员最常用的工具软件了。光学设计中，描述和控制一个光学系统的初级像差结构，通常使用轴上球差、轴向色差、彗差、场曲、畸变、垂轴差、像散等像差参数。

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2009-09-17
    • 文件大小：131072
    • 提供者：ZEMAX

  1. 摄像头像差的分类及校正方法

  2. 在镜头设计时，虽然动用了大型电脑进行庞大的计算和高度的拟应作业，其能将像差控制到最低，以获得最佳的成像性能，严格来说，将所有的像差完全消除，事实上是不可能的，成品的镜头或多或少都会有一些像差存在着

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2010-03-21
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：huanglina_jn

  1. 主客观结合人眼波前像差测量系统的设计与实验

  2. 主客观结合人眼波前像差测量系统的设计与实验，张培茗，陈家璧，设计了主客观方法相结合的人眼波前像差测量系统。该系统的控制部分以工控机为中心，实现了对离焦补偿装置、LCD视标显示装置和可变

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-03-04
    • 文件大小：493568
    • 提供者：weixin_38641339

  1. 基于鬼像和像差分析的高功率激光装置透镜设计

  2. 为了设计能够满足高功率固体激光装置需求的空间滤波器透镜,采用矩阵光学方法,分析光束经过单透镜传输时剩余反射形成各阶鬼像的过程,得到鬼像位置与透镜曲率半径的关系式。该关系式表明,透镜的曲率半径设计可以控制鬼像所在的区域。根据高功率激光装置光路排布的特点简化鬼像分析,利用自行开发的鬼像追迹软件分析了主放大级鬼像分布特点。通过改变透镜的曲率半径和倾斜透镜这两种方式,基于鬼像规避和像差最小化两种原则,最终确定主放大级透镜曲率半径的最优选择为1∶3弯月型,凸面朝向光学元件集中的方向。该方法可普遍应用于指导

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-04
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38725086

  1. 像差对复眼透镜光束整形性能的影响分析

  2. 复眼透镜在均匀照明中应用广泛，但是在大像差系统中其均匀性和能量利用率等性能会大大下降。通过对复眼透镜光束整形系统的成像假设，将其分解为若干子成像系统的组合，并讨论了像差及其表现对整形性能的影响。认为在像差表现中边缘点扩散、像面畸变、子孔径成像位置偏离对复眼透镜整形性能影响较大，而内部点扩散在一定程度上能够提高其整形性能。通过具体实例，控制对复眼透镜性能影响较大的像差表现而放宽影响较小的像差表现，优化设计以两个普通球面镜而不是通常采用的傅里叶透镜作为积分透镜的大像差复眼透镜整形系统，验证了该成像分

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-26
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38587705

  1. 高功率激光驱动器波前残余像差研究

  2. 准确预校正大能量激光发射时的动态波前像差是高功率激光驱动器自适应光学波前质量控制的关键。基于闭环预校正实验数据，利用神光II升级装置波前传输模型计算动态波前预校正偏差，获得更为准确的变形镜校正面形；再利用基于驱动器位置相位校正的变形镜控制算法修正变形镜的驱动电压，可提高动态波前预校正的准确性，降低激光装置大能量发射实验时输出光束的波前残余像差。在神光II升级激光装置上采用该技术获得了比传统的基于闭环预校正的波前控制技术更好的波前控制效果，使得大能量激光发射实验中光束顺利过孔，保障了装置的安全运行

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38711643

  1. 利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差

  2. 极小像差投影物镜中的高阶像差很难通过调节机构消除,是约束像质进一步补偿优化的瓶颈.离子束溅射(IBF)设备广泛应用于光学加工中,能够较好地去除低频和中频误差,实现高精度面形精修.对现有投影物镜小比例验证模型的系统波像差成分进行条纹泽尼克分析,发现存在很大的三叶像差.利用面形精修技术对物镜中的一个表面进行定量精修去除以补偿三叶像差.仿真与实验结果表明,三叶像差得到很好的控制,系统波像差由原来的29.6nm(RMS)减小到12.7 nm(RMS),成像质量得到进一步提升,验证了这种三叶像差补偿方法的

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-24
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38579899

  1. 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究

  2. 热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点，提出了将元件位移法和元件分区加热法相结合，共同补偿热像差的方案。元件位移法通过改变元件的间隔、偏心或倾斜量来调节像质；元件分区加热法利用光学材料折射率随温度变化的特点，通过控制元件的温度分布产生可控波前。采用上述补偿方案对偶极照明模式下的热像差进行补偿，波像差从129.78 nm 减小至1.69 nm，畸变从12.24 nm 减小至1.31 nm，将物镜像质补偿至接近设计水平。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-23
    • 文件大小：5242880
    • 提供者：weixin_38725450

  1. 双变形镜自适应光学系统像差解耦研究

  2. 对由大行程变形镜和高空间频率变形镜组成的双变形镜自适应光学系统中的像差解耦原理和限定像差校正算法做了理论分析。认为在高空间频率变形镜的斜率响应矩阵中加入限定像差向量,根据直接斜率法分别计算出两个变形镜的控制电压,可以实现两个变形镜分别对低阶像差和高阶像差的闭环校正。仿真研究了19单元变形镜和61单元变形镜组成的双变形镜自适应光学系统对低阶像差和高阶像差分别校正的情况,结果说明双变形镜自适应光学系统的校正效果与理想行程的单变形镜自适应光学系统的校正效果相当,避免了制作同时具有大行程和高空间频率两个

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38557757

  1. 扰动对非稳腔模式的影响和腔内倾斜像差校正

  2. 采用哈特曼-夏克(Hartmann-Shack)波前传感器分析了腔内扰动对无源正支共焦腔调腔光模式的影响,用模式法进行了波前复原计算。引入等量扰动,腔内凹镜对于腔模的影响大于凸镜；且对于大菲涅耳数非稳腔,腔内倾斜扰动量与输出光束中查涅克(Zernike)倾斜像差系数具有较好线性关系。建立了基于哈特曼-夏克波前传感器进行腔外探测,控制腔内凹镜的低阶像差校正系统,比较了在不同腔内扰动状态下对倾斜像差的控制结果。实验表明,对于腔内扰动频率较低或者准静态的情况,控制系统对腔内倾斜像差的校正具有较好的效果

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-11
    • 文件大小：646144
    • 提供者：weixin_38683193

  1. 人眼高阶像差校正和视觉分析系统

  2. 人眼除具有可用眼镜或接触镜校正的低阶像差(离焦、像散)之外,还普遍存在高阶像差。高阶像差的存在影响着屈光系统的成像质量。为研究高阶像差对视觉功能的影响,利用自适应光学技术,建立了具有校正高阶像差和产生高阶像差双重功能的人眼高阶像差校正和视觉分析系统。介绍了系统实现高阶像差校正和视觉分析的工作原理;阐述了波前校正器、哈特曼波前探测系统、控制系统等关键单元技术;列出了系统对泽尼克模式像差的校正效果,绝大多数像差从0.5λ降低到0.2λ以下;阐明系统功能的实现过程,并给出仿真实验的结果。该系统为进一步

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：992256
    • 提供者：weixin_38743968

  1. 神光Ⅲ原型装置全光路像差闭环校正实验研究

  2. 利用置于神光Ⅲ原型(TIL)装置靶室波前测量系统,获得8束激光全光路静态像差,将测量结果分别过渡到各路主放参数诊断包内的波前传感器。基于主放注入位置的小口径变形镜和主放参数诊断包内的波前传感器,对全光路像差进行闭环校正,利用CCD相机对靶面焦斑进行测量。实验结果表明,全光路像差闭环校正后8束激光在靶面位置的焦斑能量集中度有明显改善,验证了小口径变形镜全光路像差的控制能力,满足了物理实验对靶面焦斑能量集中度的控制要求。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38728347

  1. 基于线性相位反演技术的自适应光学动态像差校正闭环实验研究

  2. 为了研究线性相位反演(LPR)技术在自适应光学系统中的应用,在实验室搭建了一套基于该技术的自适应光学闭环实验系统,利用19单元变形镜对动态像差进行了实时闭环实验。实验对由变形镜产生的系统像差定标,得到远场定标图像,利用远场实测图像和定标图像之间的光强分布变化量直接复原出变形镜驱动器电压,控制变形镜校正像差。实验数据表明,基于线性相位反演技术的自适应光学系统可以对一定大小的动态像差进行实时闭环校正,并有较好的校正效果,论证了这种系统的可行性。这种系统硬件结构简单,算法运算量很少,速度很快。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38548394

  1. 微机械薄膜变形镜在人眼像差校正中的波前控制算法研究

  2. 借助影响函数矩阵,分析了变形镜拟合波前像差的性能。提出了一种滤除高阶像差模式影响的波前控制算法,弥补了最速下降法无法通过模式选择优化校正过程的缺点,提高了变形镜的校正能力。对人眼出射的畸变波前进行实验,结果表明,经过6次迭代以后,波前的均方根值(RMS)达到衍射极限,系统闭环校正频率为15 Hz。说明基于该控制算法的微机械薄膜变形镜自适应光学系统能够实时校正动态人眼像差,为搭建小型化、低成本的人眼波前像差校正系统提供了算法支持。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-10
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38688969

  1. 37单元双压电片变形镜像差校正能力实验研究

  2. 像差校正能力是衡量变形镜性能的重要指标，对自适应光学系统波前校正器件的选择有重要的参考价值。结合虚拟像差与直接斜率法控制技术，对最大通光孔径为45 mm的37单元双压电片变形镜的像差校正能力进行了实验研究，并分析了通光孔径与光束入射角度对变形镜像差校正能力的影响。研究结果表明，实验所用双压电片变形镜在通光孔径为28 mm时能够取得最好的像差校正效果，随着光束入射角度增加，变形镜对像差的校正精度逐渐下降。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-08
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38690017

  1. 全息光栅拼接系统中的像差补偿法

  2. 全息光栅拼接参数需要用参考干涉条纹来检测。系统像差会造成干涉条纹扭曲, 产生光栅拼接误差。为补偿像差造成的光栅拼接误差, 对像差与干涉条纹扭曲量之间的理论关系进行了研究, 利用计算机模拟了参考干涉条纹图像, 并将光栅拼接误差预调制到参考干涉条纹图像中。为验证该方法的有效性, 在曝光系统像差峰-峰值为0.72λ的情况下进行了光栅拼接实验, 在光栅拼缝处像差造成-1级衍射波面最大突变量为0.36λ。利用预制参考干涉条纹图像作为拼接参考时, 其最大突变量为0.097λ。实验结果表明, 在曝光系统像差较

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-07
    • 文件大小：10485760
    • 提供者：weixin_38707240

  1. 光瞳离轴自由曲面光学系统像差特性分析

  2. 基于节点像差理论, 提出了以泽尼克多项式为表征函数的光瞳离轴自由曲面光学系统像差分析方法, 推导了光瞳离轴自由曲面系统的三阶像散和彗差解析表达式, 分析了自由曲面对光瞳离轴系统像差节点分布的影响。根据像差分布特性, 有针对性地选取和优化泽尼克系数, 设计了一个光瞳离轴自由曲面空间天文光学系统, 系统有效焦距为25 m, 口径为2 m, 视场为1.2°×1.2°。自由曲面的引入, 使系统三阶像散和彗差节点重新回到视场中, 不仅平衡了系统光瞳离轴引起的非对称像差, 而且有效控制了全视场内点扩展函数(

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-06
    • 文件大小：9437184
    • 提供者：weixin_38721398

  1. 光学系统像差对极紫外光刻成像特征尺寸的影响

  2. 13.5 nm波长极紫外(EUV)光刻机的分辨率虽然很高,但因波长的减小使其对像差的容忍度降低,有必要研究像差对EUV光刻成像的影响。针对四类典型像差的波前特征,选取对像差最敏感的四种测试图形,研究像差对光刻成像特征尺寸和最佳聚焦点偏差量的影响。在满足焦深要求的条件下,给出各单类像差的最大允许范围,最后将四类像差总值控制在0.04λ内,从仿真分析的角度研究了实际工艺生产对像差的要求,即总像差需控制在0.025λ以内,约0.34 nm。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-06
    • 文件大小：10485760
    • 提供者：weixin_38514805

  1. 一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法

  2. 提出一种基于线性模型的光刻投影物镜偏振像差补偿方法。根据Hopkins矢量部分相干成像理论，推导了投影物镜含有偏振像差时交替型相移掩模（Alt-PSM）光栅图形的空间像光强分布以及偏振像差引起的光栅图形成像位置偏移（IPE）与最佳焦面偏移（BFS）的解析表达式。利用该解析表达式建立了偏振像差与光栅图形成像质量（IPE、BFS）的线性模型。通过该线性模型能快速计算偏振像差线性灵敏度，调整控制相应的标量像差补偿量，从而减小偏振像差对光栅图形成像质量的不利影响，实现偏振像差补偿。该方法的补偿效果主要与

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-05
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38517904

  1. 人眼像差校正线性二次高斯优化控制研究

  2. 为获得清晰的高分辨率人眼眼底视网膜图像，自适应光学系统中变形镜必须能够实时跟踪并补偿人眼中随时间变化的像差信息。对波前像差特别是动态像差的校正能力不仅取决于变形镜等硬件的性能，还与自适应光学系统中的控制算法密切相关。在不加大硬件复杂度的基础上，介绍了一种基于Kalman 滤波的线性二次高斯(LQG)人眼像差校正最优控制模型。首先分析了自适应光学系统的离散性，证明在离散模式下研究自适应光学系统的可行性；然后建立了基于Kalman 滤波的LQG 优化控制模型，并给出基于LQG 优化控制的像差校正控制

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-05
    • 文件大小：590848
    • 提供者：weixin_38634065
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