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具有高电流能力的单片4H-SiC结势垒肖特基二极管的制作
具有高正向能力的单片4H-SiC结型势垒肖特基(JBS)二极管引起了人们的极大兴趣当前用于工业电源应用。 在本文中,我们报告了在掺杂至6×1015cm3的10μm4H-SiC外延层上制造的大面积单片4H-SiC JBS二极管。 有效面积为30 mm2的JBS二极管在5 V的正向电压下具有330A的正向电流,这对应于1100 A / cm2的电流密度。 通过使用最佳的多重浮动保护环(MFGR)终端,对于高达100A的反向电流,也实现了接近1.6kV的接近理想击穿电压,约为理论值的87.2%。
所属分类:
其它
发布日期:2021-03-17
文件大小:1048576
提供者:
weixin_38629362