准分子激光为峰值功率高、能量大的脉冲激光，同时具备波长在紫外波段的特殊性，在科研、医疗和工业等诸多领域具有十分重要的应用价值。但由于准分子激光器的工作原理所限，通常情况下其输出激光的光斑形状并不规则且能量分布较为复杂，目前各类型整形或均束光学系统在应用于这种复杂光源时仍然存在一定局限。

报道了248 nm 准分子激光微透镜整形均束装置的研制结果。实际采集并拍摄了248 nm 准分子激光光能量分布的彩色图像，使用Matlab分析处理该图像并提取了相关信息进行计算，通过光学软件ZEMAX 模拟出符合实际准分子激光光能量分布的光源。通过分析空间光能量分布特征，设计并加工出一套适用于248 nm 准分子激光的微透镜整形均束装置，且理论模拟和实际测试结果相吻合。248 nm 准分子激光通过该光学系统整形均束后，可以在工作平面上得到一个约18 mm×18 mm 的正方形光斑，光斑的能量均匀