光刻投影物镜小比例模型光学系统镜片数量较多，用每个补偿量去补偿对应失调量的传统装调方法对其不适用。利用灵敏度矩阵，并对其进行奇异值分解，对分解后的失调量向量的数值与符号进行分析，确定各失调量之间的相关性，提出了系统补偿量的选择方法，该方法仅需要分析少量向量即能选择补偿量的最佳组合。编写宏模块进行大量仿真计算，验证了补偿量敏感度与相关性分析的正确性。物镜系统初装完成后，对系统进行了仿真预装调，以确保补偿方案的可行性。实验结果表明，补偿后系统波像差均方根(RMS)值由70 nm降低到29.6 nm，