赵葵银1,胡俊达1 ,吴俊2 (1.湖南工程学院,湖南 湘潭 411101;2.湘潭大学,湖南 湘潭 411105) 摘要:采用自调整因子混合式模糊PID控制方法,对单晶炉的提拉速度进行控制。工程实际运行表明,该方法不仅能够提高系统的鲁棒性,还可以提高系统的动静态性能,获得了满意的控制效果。 关键词:单晶炉; 提拉速度; 自调整模糊控制器 中图分类号:TP273+.2 文献标识码:A 文章编号:1003-353X(2003)03-0032-02 1 引言 随着IT产业的迅速发展,生产集成电路所需