为了在压电陶瓷执行器微动控制中获得高精度的同时，实现高响应速度，采用三阶轨迹规划方法设计控制算法。为了对控制算法的性能做出准确评价，采用xPC Target实时内核技术，以高速模拟信号采集卡作为控制/反馈信号的I/O通道，搭建了半实物仿真平台，获得了毫秒量级的伺服周期。

摘要：为了在压电陶瓷执行器微动控制中获得高精度的同时，实现高响应速度，采用三阶轨迹规划方法设计控制算法。为了对控制算法的性能做出准确评价，采用xPC Target实时内核技术，以高速模拟信号采集卡作为控制/反馈信号的I/O通道，搭建了半实物仿真平台，获得了毫秒量级的伺服周期。 　　0 引言 　　由于压电陶瓷执行器（Piezoelectric Actuator,PZT）具有定位精度高、带宽大、响应时间快等优点，所以被广泛地应用于如超精密加工、半导体光刻等领域的精密定位系统中。但是随着工业化生产