报道了一种基于单层光栅零级衍射的高精度微位移传感器。 当激光的一部分被光栅反射衍射而另一部分被反射镜垂直反射并再次被光栅衍射时，就会发生激光光栅干涉，从而产生光学干涉检测。 为了获得光学干涉检测的最佳对比度，通过衍射标量理论对光栅的占空比和衍射级进行了优化。 微位移传感器的灵敏度为0.40％/ nm，分辨率为0.6 nm，最大量程为100 µm。 这项工作实现了高性能的位移传感器，并为设计具有超紧凑结构的位移传感器提供了理论和技术基础。