为了解决催化甲烷传感器传统的珠状和平面硅载体的盲Kong问题，采用MEMS技术制造了基于陶瓷微热板的催化甲烷传感器。在Al2O3上原位生长的多Kong陶瓷膜用作传感器的载体。用SEM和EDS分析了催化剂的形貌和元素。通过COMSOL软件仿真，通过电热机械模型的直接耦合分析了传感器的温度和热应力分布。同时，我们还研究了传感器的甲烷响应特性。仿真和实验表明，所设计的MEMS催化甲烷传感器的工作温度约为450摄氏度。微热板的温度分布均匀，最大温差小于4摄氏度。电压为2.8时V，该传感器可以实现0的体积