光学自由曲面元件如离轴非球面等在现代光学系统中起到了越来越重要的作用。计算全息元件(CGH)可产生任意形状的波前，能够很好地应用在光学自由曲面的零位补偿干涉测量中。针对一离轴椭球面为测量样品，以光学计量领域比较成熟的Offner补偿器法，测量离轴非球面母镜的面形偏差，进而获得离轴椭球面的面形偏差；再将离轴椭球面通过旋转平移，作为自由曲面元件，在平面基板上设计CGH对其进行零位补偿测量，研究零位补偿CGH的误差传递数据。通过主要原理误差分析与计算，在光学熔石英平面基底上制作零位补偿CGH，测量不确

基于计算全息（CGH）的零位干涉检验是非球面检测的主要方法之一。采用共轴计算全息有很多优点，但其中心区域因形成鬼像而无法检测。为消除鬼像对测量的影响，采用离轴计算全息和改进的泰曼-格林干涉装置，将离轴CGH置于成像臂，对测试光进行二次补偿并在垂轴方向分离各衍射级次，通过倾轴和滤波选取0级参考光和-1级测试光发生干涉，对一块高次非球面进行了检测，其中非球面的波差由标准球面透镜组和离轴CGH共同进行补偿。作为对比，采用Zygo干涉仪和共轴CGH检测了同一块非球面。实验结果表明在成功消除鬼像的同时，两