设计了一种小型超宽带共面波导（CPW）馈电的MEMS单极子柔性天线，具有结构简单、质轻、易集成、可柔性弯曲的特点。该天线采用了具有高柔弹性和良好的自我恢复性的PDMS材料为介质基板，在柔性基板一侧设计了圆盘状的金属辐射结构，采用了CPW结构与天线集成于基板同一侧。实验中，验证了氧等离子刻蚀与SDS联合处理的方式能有效改善光刻胶与PDMS表面的粘附效果，并分别基于AZ6130胶、RZJ304胶、AZ5214E胶在PDMS柔性基底上利用金属剥离工艺制作了该CPW馈电的MEMS单极子柔性天线，对比了基