导读：随着工艺技术的发展，栅的尺寸越来越小，金属的层数越来越多，发生天线效应的可能性就越大。而天线效应则会对小型技术领域产生非常大的影响，因为泄电所带来的损害很可能波及整个栅极。因此，本文对天线效应的产生机理及消除天线效应的方法做出了讨论。 　　1.天线效应简单介绍 　　天线效应或等离子导致栅氧损伤是指：在MOS集成电路生产过程中，一种可潜在影响产品产量和可靠性的效应。 　　在芯片生产过程中，暴露的金属线或者多晶硅（polysilicon）等导体，就象是一根根天线，会收集电荷（如等离子刻蚀