常见问题 原因 解决方法 过显影或显影不足 显影点位置不对。 调整显影速度、温度。 部份显影不足或过显影 消泡剂补充不足、后段清洗问题。 补充消泡剂检查清洗段。 干膜质量差。 更换干膜。 储存时受到其它光源的影响。 改善储存条件。 曝光过度。 使用曝光尺检查曝光强度。 底片问题。 使用仪器检查底片的透光率。 真空不良引起底片与基板接触不好产生虚光。 检查设备真空