在生物科学，通信，海洋探测，农业等领域的广泛应用中，对红外波长的极化检测的需求不断增长。亚波长金属光栅能够将横向磁模式与横向电模式分离以形成偏振光，从而提供了一种偏振光。实现极化检测的有前途的方法。 常规方法是在标准检测器中组装芯片形式的市售偏振器。 本文介绍了基于电子束光刻技术通过纳米制造将亚波长光栅与独立的InP-InxGa1-xAs传感器集成在一起的最新进展。 在制造过程中遇到的技术问题是来自InP-InxGa1-xAs的一次电子强烈向后散射，在抗蚀剂上造成大量额外的曝光，因此标准共聚物/