随着单晶硅片制造向大直径化发展，直拉法单晶硅生长技术在单晶硅制造中逐渐显出其主导地位。为使结晶过程更加稳定和实用有效，则需提高对工艺参数的控制精度，基于CCD摄像扫描识别技术的单晶硅等径生长速度控制技术得到业界的重视。 基于ARM的单晶硅测径系统具有巨大的市场潜力。因此，这里研究了单晶硅测径系统的图像采集、处理及显示

1 引言 　　随着单晶硅片制造向大直径化发展，直拉法单晶硅生长技术在单晶硅制造中逐渐显出其主导地位。为使结晶过程更加稳定和实用有效，则需提高对工艺参数的控制精度，基于CCD摄像扫描识别技术的单晶硅等径生长速度控制技术得到业界的重视。 　　基于ARM的单晶硅测径系统具有巨大的市场潜力。因此，这里研究了单晶硅测径系统的图像采集、处理及显示。 　　2 整体方案设计 　　系统上电后，CCD摄像头拍摄单晶炉炉膛内晶体硅棒生长区域图像，并传送至嵌入式系统，通过观察在VGA接口显示器上显示的图像清晰度