掠角沉积技术的应用、理论及工艺方法，曹永智，吴超，薄膜技术有着悠久的历史。随着纳米技术的不断发展，纳米结构薄膜再次成为研究热点。近些年来，作为构筑纳米结构薄膜的有效方法，

掠角沉积纳米结构薄膜技术研究，曹永智，吴超，薄膜技术有着悠久的历史。随着纳米技术的发展，具有特殊纳米结构的薄膜表现出多种独特的性质，使其在光学、能源以及新型传感器等

用电子束蒸发技术在晶体及激光陶瓷两种基底上沉积了氧化铪（HfO2）单层膜，采用掠角X射线衍射（GIXRD）技术和纳米划痕仪对薄膜的晶向结构和力学特性进行了研究。实验结果表明，HfO2薄膜在单晶晶体和多晶陶瓷基底上均呈现多晶态结构，均呈（020）面择优生长，陶瓷基底上薄膜的择优取向更明显。膜基结合较差的晶体-HfO2体系上薄膜的衍射峰较多，膜基结合较好的陶瓷-HfO2体系上薄膜的衍射峰较少。对比两个基底和其上薄膜的X射线衍射(XRD)结果发现，晶体基底的单晶结构与其上薄膜的多晶结构晶态差异较大，导