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  1. 显示/光电技术中的显微工作台重复精度的测量

  2. 用百分表(精度为0.01 mm)对工作台两个方向的重复定位精度进行了测试。首先将工作台某一位置进行零点标定,并向一个方向给出一定步数的脉冲,然后再返回相同的步数,记录与零点的偏差,重复进行10次,计算这一步数的重复定位误差。在X轴方向取1.4 mm(35步),2.8 mm(70步)和4.8 mm(120步),在y轴方向取1.2 mm(30步),2.4 mm(60步)和4.0 mm(100步)。计算结果是:在x方向上的标准偏差分别为σ1=0.018 mm,σ2=0.025 mm和σ3=0.032
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2020-11-13
    • 文件大小:34816
    • 提供者:weixin_38704830