设备制造业是集成电路的基础产业,是完成晶圆制造、封装测试环节和实现集成电路技术进步的关键,在集成电路生产线投资中设备投资达总资本支出的80%左右(SEMI 估计)。所需专用设备主要包括晶圆制造环节所需的光刻机、化学汽相淀积(CVD)设备、刻蚀机、离子注入机、表面处理设备等;封装环节所需的切割减薄设备、度量缺陷检测设备、键合封装设备等;测试环节所需的测试机、分选机、探针台等;以及其他前端工序所需的扩散、氧化及清洗设备等。这些设备的制造需要综合运用光学、物理、化学等科学技术,具有技术含量高、制造难度