Er（2）O（3）-Al（2）O（3）膜在室温下通过射频磁控管技术沉积在Si（001）衬底上。 分别在O（2）环境中将样品在450、600和750摄氏度下退火30分钟。 通过光谱椭圆偏光法研究了沉积样品和退火样品的光学常数。 适当的折射率值表明它可能是太阳能电池的有用材料。