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  1. 正弦相位调制自混合干涉大范围位移测量精度测试与分析

  2. 介绍了正弦相位调制型激光自混合干涉仪位移测量原理、光路搭建和信号处理方法。正弦相位调制由外腔中的电光晶体引入,调制后的自混合干涉信号采用傅里叶分析的方法完成相位解调。这项技术已经应用于纳米精度微位移测量,为了拓展其应用领域,将该技术应用于大范围位移测量。在实验过程中,使用自混合干涉仪和Agilent 5529A校准仪同时对大尺度和小尺度范围内的位移进行测量,通过比较测量结果来检验干涉仪的性能。实验结果表明,在普通的实验室噪声环境中,自混合干涉仪在毫米范围内的位移测量精度在亚微米量级,在微米和纳米
  3. 所属分类:其它

    • 发布日期:2021-02-06
    • 文件大小:3145728
    • 提供者:weixin_38517728