在曝光线宽为90 nm的投影光刻机中，准分子激光光源发出的矩形截面光束，需要进行一维扩束，以获得光束整形单元所需的正方形截面分布。现有的这类扩束单元分别存在严重的相干散斑效应和严格的装调公差等不足。基于此，提出了多组元平行反射扩束镜组。通过求解各组元透射率值的线性方程组，得到若干种扩束单元结构，其中的四组元扩束单元每个组元只有一种透射率，有效降低了镀膜的工艺成本。分别从公差分析、系统透射率和出射光束均匀性等方面对各类扩束单元结构进行综合比较，并通过建模仿真，验证了设计的四组元扩束单元的散斑效应和

在曝光线宽为90 nm节点的投影光刻机照明系统中，针对准分子激光光源扩束后出射光束均匀性较差的问题，用高斯光束边缘叠加能够提高均匀性的原理对反射式扩束单元进行了分析。结果表明，平行反射式扩束单元出射光束之间叠加尺寸与反射板某区域透射率存在矛盾，制约了照明光束均匀性的提高。为此，提出了非平行反射扩束镜组，推导了出射光束尺寸、叠加子光束个数与两反射镜楔角之间的关系式，确定了楔角的取值范围和扩束单元的结构形式。通过建模分析，验证了设计的扩束单元在实现光束一维扩束的同时，不仅减小了叠加光束的干涉散斑效应