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搜索资源列表

  1. 激光干涉仪安装软件

  2. 老的激光干涉仪安装软件。很难找的。现在雷尼绍的多。

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2013-03-15
    • 文件大小：10485760
    • 提供者：xin6781

  1. 激光干涉仪 说明书 JENAer

  2. 耶拿尔 JENAer 激光干涉仪说明书，测量精度分辨率高

  3. 所属分类：硬件开发

    • 发布日期：2013-04-09
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：realbank

  1. 雷尼绍激光干涉仪测量数控程序

  2. 激光干涉仪精度检测，两种非常简单的机床数控程序

  3. 所属分类：制造

    • 发布日期：2016-04-26
    • 文件大小：301
    • 提供者：gangboy2011

  1. XL80-激光干涉仪详细样本.pdf

  2. XL80-激光干涉仪详细样本

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-04-14
    • 文件大小：4194304
    • 提供者：u010684431

  1. 雷尼绍XL80激光干涉仪操作手册汇总.pdf

  2. 雷尼绍XL80激光干涉仪操作手册汇总

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-04-14
    • 文件大小：7340032
    • 提供者：u010684431

  1. LIGO S6 及四激光干涉仪对残余引力波的限制

  2. LIGO S6 及四激光干涉仪对残余引力波的限制，陈洁文，张杨，目前国际上有LIGO H1， L1，VIRGO等激光干涉引力波探测器正在运转，还有其他探测器也在计划或调试中。若将多个干涉探测器的数据关联，

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2019-12-28
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38577648

  1. Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档.pdf

  2. Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档pdf,Renishaw XL-80激光干涉仪系统介绍文档XL系统组件 该新型系统的基础组件是一个轻型激光头(XL-80 和一个独立的补偿单元系统(XC-80 测量光学镜组 XL-80 USB 温度传感器 USB XC-80 XL-80激光系统 XL-80激光系统可以产生极其稳定的激光 光束,采用的波长可溯源至国家和国际标准 激光稳频精度为1年内±0.05ppm,1小时内 ⅩL80和XC80可经由USB直接与计算机连接,无 0.02ppm。这种优

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2019-10-12
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38743481

  1. 利用激光干涉仪对机床定位精度的快速检测

  2. 摘要：简要介绍了双频激光干涉仪的组成和工作原理，并介绍了一种快速调整激光干涉仪准直 的方法以及检测机床定位精度时的注意事项.

  3. 所属分类：专业指导

    • 发布日期：2010-08-03
    • 文件大小：390144
    • 提供者：ngchaha

  1. 基于激光干涉仪的影像测量仪定位误差和补偿的研究

  2. 在介绍激光干涉仪的工作原理后,并用激光干涉仪对测量仪工作平台进行了误差检测。运用分段插补数学模型进行定位精度的补偿,得出了2组的实验数据,误差产生的原因以及证实了补偿的有效性。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2020-06-29
    • 文件大小：233472
    • 提供者：weixin_38590996

  1. SJ6000激光干涉仪产品解决方案

  2. SJ6000 激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器， 其寿命可达 50000 小时；采用激光双纵模 介绍了关于SJ6000激光干涉仪产品解决方案的详细说明，提供数控知识的技术资料的下载。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-22
    • 文件大小：860160
    • 提供者：weixin_38674675

  1. 基于外部激光干涉仪的压电驱动移相器：设计，控制和实验验证

  2. 基于外部激光干涉仪的压电驱动移相器：设计，控制和实验验证

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-14
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38557768

  1. 激光干涉仪，用于空间重力波检测和地球重力测绘

  2. 激光干涉仪，用于空间重力波检测和地球重力测绘

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-03-09
    • 文件大小：1048576
    • 提供者：weixin_38665093

  1. 大口径横向双剪切激光干涉仪

  2. 空间激光通信中发射波面质量接近衍射极限, 测量波面是调整和检验发射系统的依据。传统的平板剪切干涉仪是测量波面的有效手段之一, 但应用在测量波面高度小于0.3个波长, 口径100～300 mm, 短相干长度的半导体激光器时存在一些限制。大口径横向双剪切激光干涉仪改进于马赫曾德尔结构, 可以实现这一功能。干涉仪主要由两块透射反射镜和四块反射镜组成, 其中一块反射镜结构上下分开, 形成一定的夹角, 通过干涉图上下条纹的差分求出波像差, 提高灵敏度。目前建成的仪器有效通光口径为290 mm, 等光程相干

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-26
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38626984

  1. 用于纳米测量的集成化单频激光干涉仪

  2. 研究了一种基于偏振光的集成式单频激光干涉仪。利用偏振光学变换方法，实现了干涉仪的光学4细分结构，提高了测量灵敏度；构建4路正交探测结构，实现了干涉仪的无源偏振调制，扩大了干涉仪测量范围；采用光路集成化的设计方法，实现了一体化干涉仪光路集成。对激光干涉仪进行振动测量实验研究，结果表明，静态位移测量误差小于±0.3 nm，振动测量的分辨率达10 pm/Hz1/2；上述集成单频激光干涉仪具有测量精度高、稳定性好、动态范围宽、受环境影响小等优点，可被广泛用于纳米测量的各个领域。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-25
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38690095

  1. 大量程扫描频谱激光干涉仪的方案设计

  2. 啁啾脉冲频谱干涉仪是一种常用的高时间分辨连续测试仪器，但是时间分辨能力和测试量程之间的相互制约关系限制了其在超快变化、大时间尺度物理过程研究中的应用。利用线性啁啾脉冲序列和耦合光谱仪的条纹相机记录系统，设计了一种扫描频谱激光干涉仪。通过理论分析和数值模拟研究了扫描频谱激光干涉仪的工作原理，论证了其可行性，该干涉仪可以实现相位扰动信号的精确测量，且具有相当于啁啾脉冲频谱干涉仪的高时间分辨能力和数倍的测试量程。数值模拟分析了条纹相机采样时间对扫描频谱激光干涉仪测量结果的影响，发现在无噪声情况下，采样

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-24
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38608875

  1. 基于振动节点优化提高双频激光干涉仪的测量精度

  2. 双频激光干涉仪在纳米测量技术领域中的应用十分广泛,在特定的使用环境中,如何减小测量系统存在的误差,提高系统的测量精度变得越来越重要。鉴于此,提出一种利用测量环境中的振型节点减小环境振动,提高双频激光干涉仪测量精度的方法。先从理论的角度分析该方案的可行性,基于此理论搭建实验测量系统,再利用加速度传感器找到测量系统中的节点位置,最后测试双频激光干涉仪在振型节点位置和其他非节点位置处的测量重复性水平。实验结果表明:当外界存在振源时,所提方法在非振型节点位置的测量重复性为±9 nm,振型节点位置的测量重

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-21
    • 文件大小：9437184
    • 提供者：weixin_38692100

  1. 一种检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法

  2. 提出一种精确检测光刻机激光干涉仪测量系统非正交性的新方法。将对准标记曝光到硅片表面并进行显影;利用光学对准系统测量曝光到硅片上的对准标记理论曝光位置与实际读取位置的偏差;由推导的位置偏差与非正交因子、坐标轴尺度比例、过程引入误差的线性模型,根据最小二乘原理计算出干涉仪测量系统的非正交性。实验结果表明,利用该方法使用同一硅片在不同旋转角下进行测量,干涉仪测量系统非正交因子的测量重复精度优于0.01 μrad,坐标轴尺度比例的测量重复精度优于0.7×10-6。使用不同的硅片进行测量,非正交因子的测量

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-13
    • 文件大小：945152
    • 提供者：weixin_38730977

  1. 用于纳米测量的单频偏振激光干涉仪的光路集成方法

  2. 提出了一种正交偏振干涉仪中光学元件位置固定与性能检测的方法，用于亚纳米级测量分辨力激光干涉仪的光路系统集成及其性能评价。构建了光学干涉仪在线检测与评价系统，基于强度检测方案，实时地对干涉仪输出的四路偏振光信号强度、干涉条纹可见度以及各路干涉信号之间的正交状态进行检测，并完成了小尺寸正交偏振激光干涉仪的光路集成；分别对分立式与集成式干涉仪的稳定性和微弱振动信号测量进行了对比实验。实验表明，集成式激光干涉仪的测量分辨力可达10 pm/Hz，信噪比优于分立干涉仪10 dB，稳定性明显提高。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-12
    • 文件大小：2097152
    • 提供者：weixin_38745233

  1. 单频激光干涉仪非线性误差补偿方法研究

  2. 提出了一种用于单频激光干涉仪的非线性误差被动补偿方法。利用干涉仪中波片位置的在线预置，实现干涉仪偏振态的超前调整，补偿干涉仪中由偏振分光棱镜、消偏振分光棱镜以及波片的性能和位置非理想导致的非线性误差。构建干涉仪非线性误差在线检测装置进行实验研究。结果表明，通过被动补偿方法集成的干涉仪输出信号的交直流抑制比大于500，非线性正交相移m减小至0.003 rad(0.15 nm)。通过连续24 h的稳定性测量实验可知，参数m变化幅度在0.024 rad(1.21 nm)内，极大地抑制了干涉仪的非线性误

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-12
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38606870

  1. 单频偏振激光干涉仪中波片对非线性误差的影响

  2. 研究了用于纳米测量的激光干涉仪中光学波片对非线性误差的影响，基于琼斯矩阵理论建立了多波片的误差分析模型，分析了λ/2和λ/4波片引起的干涉仪非线性误差，对波片位置引起的非线性误差进行了实验研究。结果表明，波片位置调整精度对干涉仪测量影响巨大，在0~5°范围内，λ/2波片和λ/4波片引起的非线性误差分别为6.5 nm和9.5 nm。上述研究结果为单频偏振激光干涉仪光路调整及非线性误差的补偿提供了参考。

  3. 所属分类：其它

    • 发布日期：2021-02-12
    • 文件大小：3145728
    • 提供者：weixin_38536267
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