研究了在1-on-1情况下，采用不同激光能量对HfO2薄膜进行预处理后，薄膜的光学特性、损伤阈值以及损伤形貌变化的机理。实验采用阈值能量的10%、30%、50%、70%对薄膜进行1-on-1预处理，经过预处理后的薄膜表面粗糙度平均从2.62 nm降低到2.41 nm。随着能量阶的提升，激光预处理后薄膜在1064 nm处的透射率与预处理前相比均有所增大。激光损伤阈值先增后降，30%能量预处理的薄膜损伤阈值最高，达到了26.86 J/cm2，增幅为56%。对比预处理前后的损伤形貌可知，30%能量预处