应用材料公司推出最先进的缺陷再检测SEM(扫描电子显微镜)SEMVision:trade_mark: G4系统，它将应用材料公司非常成功的SEMVision系统的技术和生产能力提升到45纳米及更小的技术节点。SEMVision G4系统的关键在于全新的SEM聚焦离子枪技术和增强的多视角SEM成像系统(MPSI)，他们具有卓越的2纳米物理精度，能提供无与伦比的成像质量，其每秒一个缺陷的检测速度也设定了新的基准。 　　应用材料公司工艺诊断和控制事业部SEM部门总经理Ronen Benzion表示