介绍了用于气体传感应用的硅基MEMS红外（IR）发射器的设计，仿真和制造。 使用COMSOL的焦耳加热和热膨胀模型，使用3D有限元方法（3D-FEM）分析了桥式热板结构（BHS）红外发射器和封闭式热板结构（CHS）红外发射器的电热机械耦合特性:trade_mark:。 为了设计自热结构，计算了n和p硅的红外吸收率。 BHS和CHS IR发射器是使用微机电系统技术同步制造的，用于直接性能比较。 两种类型的红外发射器都通过电学和光学测量来表征。 实验结果表明，由于采用了热隔离结构和自热结构，BHS